Probe station
EPS150 COAX
EDU FormFactor
Precisión y facilidad de uso en laboratorios e investigación
- Compatibilidad con sustratos y obleas de 25 mm a 150 mm
- Aislamiento del chuck COAX superior a 2 GΩ
- Capacitancia del chuck COAX de 100 pF (Signal–Shield)
- Plataforma manual de alta precisión con viajes de 155 mm × 155 mm en el chuck
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Probe estation EPS150 COAX – EDU FormFactor
La FormFactor EPS150 COAX – EDU es una estación de probing manual para obleas y sustratos de hasta 150 mm, ideal para laboratorios educativos y proyectos de investigación. Su chuck coaxial ofrece alto aislamiento eléctrico y baja capacitancia, permitiendo mediciones DC y caracterización paramétrica con excelente estabilidad. Incorpora una plataforma robusta, microposicionamiento preciso y compatibilidad con múltiples porta-puntas y configuraciones de microscopio, facilitando la caracterización de dispositivos y semiconductores con alta repetibilidad y operación sencilla.
- Ideal para una amplia gama de aplicaciones como caracterización RF, onda milimétrica y sub-THz, FA, DWC, MEMS, pruebas optoelectrónicas y WL
- Reconfigurable y actualizable a medida que aumentan los requisitos
- Minimiza los tiempos de configuración sin pérdida de rendimiento ni precisión
- Integración fluida de varios instrumentos de medición
- Bastidor de estación sólida
- Solución integrada de aislamiento de vibraciones para una atenuación superior de vibraciones
- Puente rígido de microscopio
- Diseño mecánico compacto y rígido
- Resultados de medición altamente precisos
- Incorpora los métodos más conocidos
- Diseño ergonómico y sencillo para un manejo cómodo y sencillo
- Diseño de perfil bajo
- Operación sencilla del microscopio
- Cambio rápido y ergonómico de DUT mediante la fase de extracción
- Minimizar los esfuerzos de formación
- Tiempo rápido hasta los datos
- Funcionamiento cómodo
FormFactor EPS150/MPS150 nos ayuda en los MOSFETs de potencia utilizando la estación de microposicionamiento, debido a la alineación micrométrica y el control de la presión mediante los posicionadores coaxiales. Primero, se coloca el wafer sobre el chuck (plato) de vacío, que garantiza que la oblea permanezca perfectamente plana y sin vibraciones; posteriormente, utilizando el microscopio de alta resolución, se ajustan los manípulos (posicionadores) para descender las puntas de prueba sobre los pads de Gate, Source y Drain del MOSFET. La estabilidad se asegura gracias al diseño rígido que minimiza el skating al hacer contacto, mientras que los cables y conectores coaxiales mantienen la integridad de la señal, evitando que la presión mecánica o el ruido ambiental interfieran con las mediciones de alta corriente o alto voltaje que caracterizan a los dispositivos de potencia.
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